Nature Physics 1, 134 (2005) | doi: 10.1038/nphys185
遊動するナノフィンガー
ナノリソグラフィでは走査プローブが広く利用されている。
一般的に、プローブ先端は表面上にナノスケール分解能で直接または間接的に分子を転写するために使用され、ピクセルパターンを注文に応じて蒸着することができる。しかし、問題は1つのプローブが書き込みとイメージングの両方に使用されることが多く、相互汚染のリスクが生じるおそれがあることである。操作中にプローブを切り替えることができるが、やや厄介で非能率的である。パターニングとイメージング操作を滞りなく連続して実行するほうが理想的である。そこでXuefeng WangおよびChang Liuは、それを正確にできる装置を開発した（Nano Lett. 5, 1867-1872; 2005）。
「ナノプリンター」は、17個の先端の鋭いプローブが並び、それぞれがナノパターニング、ドットパターンの生成、パターンイメージングの3つの専用機能のいずれかを遂行することができる。「ナノフィンガー」はそれぞれ独立して機能し、各プローブに取り付けられた熱膨張モジュールにより、必要に応じて先端を表面に近づけたり遠ざけたりすることができる。この装置は正確なパターンを作成可能で、汚染のリスクを最小限にし、プローブ先端を交換する必要もない。
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