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3次元シリコンフォトニック結晶に埋め込んだ共振器と導波路

Nature Photonics 2, 1 doi: 10.1038/nphoton.2007.252

<p>完全フォトニックバンドギャップ材料はオプトエレクトロニクス用途に有望だが、これを実現するには3次元的な人工欠陥を組み込む必要がある。このような欠陥を作り、特性を評価するこれまでの試みは、作製が困難なため限界があった。本論文では、シリコン逆オパール内部に今までにない品質の複雑なサブマイクロメートルの構造を作製し、その光学特性と構造特性を評価した結果を報告する。まず高分解能な3次元構造を二光子重合によりシリカコロイド結晶内部に形成し、続いて高屈折率の複製を作るステップを行い、オパールのテンプレートを除去して、3次元シリコンフォトニック結晶に埋め込まれた欠陥を作った。我々は、バンドギャップ周波数と平面光共振器の共鳴モードの結合を実証し、完全フォトニックバンドギャップ材料の鋭い湾曲部を曲がる近赤外光の導波を初めて実証した。</p>
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