In This Issue

イメージングに偏光を活用する

2008年5月12日 Nature Photonics 2, 5 doi: 10.1038/JnphotonInThisIssue66251

光の偏光を慎重にコントロールして非対称形状の焦点を形成することにより、シリコン集積回路のフィーチャーをかつてないほど詳細に画像化できることが、Derryck Reidらによって示された。Reidらの方法は、高開口数ソリッドイマージョンレンズを用いて偏光を集積回路に集光するものであり、微小な埋め込みトランジスタの画像化を可能にする。また、Sparrowの基準としてよく知られているスカラー回折限界を超える分解能を示す。Reidらは、1,530 nmで動作する赤外レーザーを用いて、直交する偏光状態の間で実現可能な分解能に2倍の差があることを示しており、約120 nmという高いイメージング分解能を実現している。

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