Nature ハイライト

電子デバイス:トップゲート電界効果トランジスター用の単結晶金属酸化物誘電体

Nature 632, 8026

今回、単結晶金属酸化物薄膜のウエハースケールの製造が報告されており、その膜を2D材料系トップゲート電界効果トランジスターの誘電体として効果的に利用できることが実証されている。

2024年8月22日号の Nature ハイライト

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