Nature ハイライト

エレクトロニクス:ファンデルワールス積層による3D半導体集積化

Nature 630, 8016

今回、全面的に事前作製された回路層のファンデルワールス積層によって、二次元(2D)半導体から複雑な三次元(3D)集積システムをウエハースケールで製造できることが示されている。

2024年6月13日号の Nature ハイライト

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