Nature ハイライト

ナノスケール材料:メモリスター用途向けのハイブリッド2D/CMOSマイクロチップ

Nature 618, 7963

今回、シリコン半導体製造の配線工程(BEOL)において2D材料を集積する、産業適合性のある方法が報告され、メモリスター用途に適している可能性があるハイブリッド2D/CMOSマイクロチップが作製されている。

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