Nature ハイライト

ナノスケールデバイス:単結晶二次元材料の成長によるモノリシック集積化

Nature 636, 8043

今回、単結晶二次元材料を非晶質表面や多結晶表面上に成長させて、縦型積層トランジスターのモノリシック集積化に利用できることが報告されている。

2024年12月19日号の Nature ハイライト

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