Nature ハイライト

電子工学:半導体ウエハーのデュアルトロニクス

Nature 634, 8033

今回、窒化ガリウム(GaN)半導体ウエハーの両面に、フォトニックデバイスと電子デバイスという2種類のデバイスを作製する手法が報告されている。

目次へ戻る

プライバシーマーク制度